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堿性蝕刻液再生循環及銅回收的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種堿性蝕刻液再生循環及銅回收的裝置，該裝置包括萃取單元、反萃單元、電解單元和調配單元；蝕刻缸內產生堿性蝕刻廢液并經管道溢流進入蝕刻廢液收集槽，萃取單元與蝕刻廢液收集槽與相連且降低堿性蝕刻廢液中銅離子含量；反萃單元與萃取單元相連且將萃取單元攜帶的銅離子變為易電解回收銅；電解單元與反萃單元相連且回收銅；調配單元與萃取單元相連且將經萃取后的蝕刻廢液變為可使用的蝕刻添加子液，且調配單元還與蝕刻缸相連。本實用新型結合四個單元增加了再生液的穩定性，減少了廢液的排放，延長了循環時間，且實現了堿性蝕刻工序的清潔生產，且還具有設計合理、再生循環時間長、銅回收率高及廢氣污染少等特點。
